设备名称：钙钛矿太阳能电池蒸发设备（镀膜机+手套箱复合型（�/span>
设备型号：ZHDS400
镀膜方式：金属 + 有机/无机蒸发
真空腔室结构：SUS304 方箱式，配有前、后�?/span>
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加热温度：室�?300℃（选配（�/span>
基片台尺寸：抽屉式：120mmx120mm可旋转、升降、水冶�/span>
膜厚不均匀性：≤�?.0%�?20mmx120mm范围内）
蒸发源：金属 2 � + 有机 4 组或更多，有机配温控式加热电源，金属电源 （国产或进口（�/span>
晶振膜厚监控仪：国产或进口（可选）
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可� )
占地面积：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套� )
总功率：� 10kW 三相五线刵�/span>

1. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低、�/span>

2. 适用于蒸�?磁控溅射与手套箱环境有机融合，实现制备、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电� /OPV 有机太阳能电池及 OLED薄膜等研究系统等、�/span>

3. 钙钛矿蒸镀适用范围：有机材料，常见如C60、BCP制备电子传输层。无机材料，如LiF、MgF 制备钙钛矿层修饰层，金属材料，如Cu,制备背电极、�/span>