加工能力

(**工件尺寸)

**尺寸1500mmx1500mm

**厚度500mm

可加工面彡�/span>

平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面筈�/span>

可加工材斘�/span>

石英、微晶�?/span>ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅筈�/span>

可加工精�?/span>

亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工

X轴行稊�/span>

�?600mm

Y轴行稊�/span>

�?600mm

Z轴行稊�/span>

�?00mm

离子溏�/span>

德国射频离子溏�/span>

中和�?/span>

德国

工作真空建立时间

�?小时

副室真空建立时间

�?5分钟

保护功能

具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护筈�/span>

智能功能

具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能

外形尺寸

6.4m×3.8m×3.3m

整机重量

16�?/span>

能耗功玆�/span>

总功玆�/span>35kW