名称	参数
加工能力 �?*工件尺寸（�/p>	300mm×300mm 厚度100mm
可加工面彡�/p>	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面筈�/td>
可加工材斘�/p>	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅筈�/td>
可加工精�?/p>	亚纳米加工精度、可实现面形RMS�?nm超高精度加工
X轴行稊�/p>	�?00mm
Y轴行稊�/p>	�?00mm
Z轴行稊�/p>	�?00mm
离子溏�/p>	德国射频离子溏�/p>
中和�?/p>	德国
工作真空建立时间	�? hours
副室真空建立时间	�?5 min
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护筈�/p>
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能、�/p>
外形尺寸	长宽高：2.5x2.5x2.1m
整机重量	4�?/p>
能耗功玆�/p>	Max:12KW Avg:5KW

畅销的离子束抛光朹�/p>

双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高、�/p>

集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差、�/p>

工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定、�/p>

无线操作手柄＋�/p>

离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等、�/p>

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