名称	参数
加工能力 (**工件尺寸)	**尺寸1300mm×1300mm **厚度400mm�?*重量1000kg
可加工面彡�/span>	平面、球面、非球面、离轴曲面、自由曲面等
可加工材斘�/span>	微晶�?/span>K9、融石英、Si、CVD、SiC、镍磷层筈�/span>
Y轴行稊�/span>	�?350mm
Z轴行稊�/span>	�?00mm
离子溏�/span>	德国射频离子溏�/span>
中和�?/span>	德国
工作真空建立时间	�?小时
副室真空建立时间	/
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护筈�/span>
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能
外形尺寸	5.0m×4.0m×2.5m
整机重量	10 �?/span>
能耗功玆�/span>	总功玆�/span>23kW

产品型号９�/p>

长沙埃福思科技有限公司的新一代离子束抛光机ÅFiSy IFS1300S**可加工�?300mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴面、自由曲面等光学零件的加工能力、�/p>

ÅFiSy IFS1300S采用单真空室侧进式、工件立式装夹的结构形式，设备主要由真空系统、运动系统、离子源系统、工件系统、电气控制及软件系统等组成、�/p>

IFS1300S布局占地 5.0m×4.0m×2.5m，IFS1300S电源采用三相五线� 380V，总功� 23kVA，IFS1300S重量� 10 吨、�/p>

IFS1300S**可加� 1300×1300mm，厚�?00mm（带背板）尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴曲面、自由曲面等光学零件的加工能力。加工材质为微晶、K9、融石英、Si、CVD SiC、镍磷层、�/p>

产品型号９�/p>

长沙埃福思科技有限公司的新一代离子束抛光机ÅFiSy IFS1300S**可加工�?300mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴面、自由曲面等光学零件的加工能力、�/p>

ÅFiSy IFS1300S采用单真空室侧进式、工件立式装夹的结构形式，设备主要由真空系统、运动系统、离子源系统、工件系统、电气控制及软件系统等组成、�/p>

IFS1300S布局占地 5.0m×4.0m×2.5m，IFS1300S电源采用三相五线� 380V，总功� 23kVA，IFS1300S重量� 10 吨、�/p>

IFS1300S**可加� 1300×1300mm，厚�?00mm（带背板）尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴曲面、自由曲面等光学零件的加工能力。加工材质为微晶、K9、融石英、Si、CVD SiC、镍磷层、�/p>

产品型号９�/p>

长沙埃福思科技有限公司的新一代离子束抛光机ÅFiSy IFS1300S**可加工�?300mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴面、自由曲面等光学零件的加工能力、�/p>

ÅFiSy IFS1300S采用单真空室侧进式、工件立式装夹的结构形式，设备主要由真空系统、运动系统、离子源系统、工件系统、电气控制及软件系统等组成、�/p>

IFS1300S布局占地 5.0m×4.0m×2.5m，IFS1300S电源采用三相五线� 380V，总功� 23kVA，IFS1300S重量� 10 吨、�/p>

IFS1300S**可加� 1300×1300mm，厚�?00mm（带背板）尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴曲面、自由曲面等光学零件的加工能力。加工材质为微晶、K9、融石英、Si、CVD SiC、镍磷层、�/p>