Wafer XRD用于全自动晶圆拣选、生产和质量控制

特点

• 适用�?�?寸晶圆。也可根据要求提供其他尺寷�/strong>

• FOUP、载具或单个晶圆�?/strong>

• 跨槽晶圆识别为可选功胼�/strong>

• 易于集成到任何工艺生产线�?/strong>

• 测量速度：每个样品＜10科�/strong>

• 典型标准偏差（倾斜度）：例如Si 100�?.003°

• MES和SECS/GEM接口

• 铜靶微焦点风冷X射线光管�?*30W）或细焦点水冷X射线光管�?*1.5kW（�/strong>

• 完全符合CE标准的安全控制装�?/strong>

• 通过3色灯塔指示状

材料

Si、SiC、GaAs、GaN、蓝宝石＇�/strong>Al₂O₂�/strong>）、Ge、AIN、石英、InP�?00s等、�/strong>

可选插仵�/span>

• 电阻率测量范围：0.01�?.020Ωcm

• 自动识别晶圆数据矩阵码、二维码、条形码或类似代�?/strong>

• 未抛光晶圆和镜面的距离测野�/strong>

年产1,000,000片晶圅�/strong>