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等离子化学气相沉积系�?PECVD

等离子化学气相沉积系�?PECVD

型号
等离子化学气相沉积系�?PECVD
产地
安徽
品牌
助研仪器
产品分类
半导体行业专用仪�?/span>
关注�?/p>454
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产品详情

名称：等离子化学气相沉积系统-PECVD

型号：ZYE-1200-PE

简介：为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）。它是由500W射频电源�?200℃单温区管式炉、三通道质量流量混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统用于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜筈�/p>

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