设备特点９�/strong>

叠堆设计**可配�?2个腔宣�/p>

上下层传送系统提供多�?50wph的吞吐量

可配置可正背面清洗，药液种类多达5种，可回�?种药涱�/p>

腔体可配备二流体雾化喷嘴

腔室可将化学飞溅降至*低，确保腔体清洁晶圆加工环境

腔体超洁净空气动态平衡均一性好