核心技术:
**磁浮Carrier导轨结合特殊导流气体设计,降低微粒发生;
自主溅镀线体设计,掌控in-line 腔体设计核心
可调式进出片时序控制与防撞片监控系统,可配合不同使用规格需求客制化产能、膜厚搭配性、/p>
先进性:
降温腔体设计,解除翘曲顾虑;
阴极靶材冷却设计,保证大功率长时间操作稳定性佳、/p>