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HORIBA真空紫外光谱仪PGS/PGM 200
HORIBA真空紫外光谱仪PGS/PGM 200

参考价栻/p>面议

型号

PGS/PGM 200

品牌

HORIBA

产地

上海

样本

暂无
HORIBA科学仪器事业?/a>

白金会员

|

?8平/p>|

代表夃/p>

工商已核宝/p>

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核心参数
  • 重现性:

    -
  • 仪器原理9/p>其他

  • 分散方式9/p>-

  • 测量时间9/p>-

  • 测量范围9/p>4-16.5nm (75-310eV) 4-26nm (47-310eV)

  • 误差率:

    -
  • 分辨率:

    0.5nm
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技术特炸/span>
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典型应用
X射线光电子能谰br/> 等离子体物理研究
高次谐波滤波
紫外反射
EUV光源表征

技术指栆/span>

三块标准光栅可逈/span>

54401010

1800 gr/mm光栅,摄谱仪模式上/span>

光谱范围9/span>4-16.5nm (75-310eV)戕/span>4-26nm (47-310eV)

出射端口色散9/span>0.4-0.68nm/mm

分辨率:0.2nm

54402010

800 gr/mm光栅,摄谱仪模式上/span>

光谱范围9/span>10-35 nm (35?24eV)戕/span>10-56nm (22-124eV)

出射端口色散9/span>1.0 1.14m/mm

分辨率:0.3nm

54406010

450 gr/mm光栅,摄谱仪模式上/span>

光谱范围9/span>16-65 nm (7?0eV)戕/span>

16-103nm (12-77eV)

出射端口色散9/span>1.7?.7m/mm

分辨率:0.5nm

光学设计

HJY平面光栅加超环面镜光路设讠/span>

焦长

200 mm

孔径

f/17

分辨玆/span>

低至0.2nm

波长驱动

步进电机

高真穹/span>

10-6mbar

真空泵法?/span>

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法?/span>

DN100CF/ICF152

可选项

狭缝

自动或固宙/span>

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10刅/span>

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