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仪器简介：
EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采?*技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室、/p>
技术参数：
应用９/p>
静 /动态SIMS
一般目的的表面分析
整体的前端离子源，便于RGA SNMS
兼容的离子枪/ FAB
成分/污染物分
深度分析
泄漏检浊/p>
与Hiden SIMS 工作站兼宸/p>
主要特点９/strong>
高灵敏度脉冲离子计数检测器?个数量级的动态范図/p>
SIMS 成像，分辨率在微米以
光栅控制，增强深度分析能劚/p>
45静电扇形分析器， 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
所有能量范围内，离子行程的*小扰动，及恒定离子传辒/p>
差式?级过滤四极杆，质量数范围?500amu
灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
Penning规和互锁装置可提供过压保抣/p>
通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软 MASsoft控制
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工商已核宝/p>
