德国 Raith Pioneer Two 电子束光刻机９�/strong>

1.系统适用�?"及以下的样片，采用热场发射电子枪，加速电压为20V~30kV。可实现高分辨电子束曝光�?小验收线宽≤8nm、�/p>

2.系统中集成了高精度的激光干涉工作台，运动行程为50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以实现精确的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm、�/p>

3.系统兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中高端的热场电镜类似，放大倍数�?0x ~1�?00�?00x�

4.另外，除了标准配置， 客户还可以增加一些选配件，如选配背散射探测器、能谱仪等，进行材料分析；选配工作台旋转倾斜模块，实现不同角度的材料成像等。如果选择相应的选配件，请增加相应的价格、�/span>