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德国KSI-凯斯安i-Wafer垊/p>
全自动晶圆超声波缺陷检测系绞/span>
i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检浊/span>
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点9/span>
- 扫描速度高达2000mm/s
- 新型换能?/p>
- 高质画面
- 同时使用1只?只?只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陶/span>
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