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在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系绞/p>
Throughput: 18 wafers (6?/cycle
产率?8?吋硅?循环
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工商已核宝/p>
