应用行业９�/span>

　　该设备适合加工的产品有硅晶圆、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、晶体、PCB板等、�/p>

　　主要应用领域：二级管、三极管、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、光学、晶体、QFN、�/p>

机型特点９�/span>

　　l 采用龙门结构，提高设备刚性，消除主轴温升误差：�/p>

　　l 采用大功率高扭矩高端直流主轴，可满足高负载，难切割材料的精密加工：�/p>

　　l 双显微镜配置，针对不同工件可方便切换：�/p>

　　l 安全保护功能齐全：�/p>

　　l 功能齐全，具备刀破检测装置，非接触测高装置，自动识别对准功能：�/p>

　　l 针对QFN,BGA器件的切割，设计特殊的对准及划切功能、�/p>

技术指标：

序号	项目	指标参数	备注
1	加工尺寸	Φ12″或300X300 mm
2	直流轳�/td>	转速：6000-60000rpm
		功率�?.8KW（选配2.2KW（�/td>
3	X轳�/td>	驱动方式：伺服电朹�/td>
		划切行程：Max300mm
		**行程：Max460mm
		分辨率：0.001mm
		划切速度�?.01-600mm/s
4	Y轳�/td>	驱动方式：伺服电�?光栅尹�/td>
		划切行程：Max300mm
		**行程：Max480mm
		分辨率：0.0001mm
		重复定位精度 0.002/5mm
		累积误差�?.005/300mm
		划切速度�?.01-120mm/s
5	Z轳�/td>	驱动方式：伺服电�?光栅尹�/td>
		**行程：Max40mm
		有效行程/刀盘尺寸：Max25mm/φ53mm
		分辨率：0.0005mm
		重复定位精度 0.002mm
		**速度� 30mm/s
6	T轳�/td>	DD电机
		转角范围：Max320°
		重复定位精度�?nbsp;3′�/td>
		分辨率：0.0004°
7	对准系统	照明光源：同�?环形
		放大倍率�?.8�?6倍，�?4X/330X（�/td>
		可观测图像大小：0.005mm
8	设备重量	900 kg±5%
9	设备尺寸	1080x1040x1900（mm（�/td>
10	设备功率	5KW�?80V�?0Hz（�/td>

设备精度９�/span>

切割直线�?/td>	0.003mm / 280mm
工作盘平整度	0.008mm/Φ200mm 0.010mm/�?60mm
XY轴垂直度	0.015mm/200mm
Y轴步进精�?/td>	单步0.002 / 5mm
	累积0.005 / 300mm
主轴法兰与X轴平行度	0.001mm / 30mm

功能配置９�/span>

　　1、测高回路检测报警功胼�/p>

　　2、断点续划功胼�/p>

　　3、修刀盘功胼�/p>

　　4、预划切功能

　　5、扫码远程加载参数功胼�/p>

　　6、自动对焦功胼�/p>

　　7、非接触测高功能(NCS)

　　8、刀具破损检测功�?BBD)

　　9、自动寻边功胼�/p>

　　10、自动崩边检测功胼�/p>

　　11、自动刀痕校正功胼�/p>

使用环境９�/span>

环境温度	机器应安装在25°摄氏度的环境中�?*是恒温无尘车间、�/td>
电压	380V±10%三相交流电（可选配220V±10%单相交流电）、�/td>
压缩空气	1.使用过滤度在0.01um/99.5%以上的压缩空气。冷干机除湿，空气压�?.5MPa-0.8MPa、�br style="box-sizing: border-box;"/>2.进气管：φ12mm无色透明管，离地高度115mm、�/td>
切割氳�/td>	1.切割水的水温控制在室温�?°C，压�?.2-0.4MPa，可采用自来水，废水处理后直接排放、�br style="box-sizing: border-box;"/>2.切割进水管：φ12mm蓝色透明管，离地高度115mm、�br style="box-sizing: border-box;"/>3.排水管：直径φ50mm蓝色弹簧软管，离地高�?15mm、�/td>
主轴冷却氳�/td>	1.冷却水（主轴冷却）采用纯水机循环供水，水温控制在室温±2°C，压�?.2-0.4MPa、�br style="box-sizing: border-box;"/>2.冷却水管：进、出均为φ8mm蓝色透明管，离地高度115mm、�/td>
抽雾箠�/td>	抽雾管直径�?0mm蓝色弹簧软管，抽雾能�?.5m³/min，离地高�?060mm、�/td>
周围环境	设备避免安装在鼓风机、通风口、产生高温和油雾的设备旁边、�/td>