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产品描述:应用于GaN外延片的自动化缺陷检测。设备采用点共焦旋转扫描的工作原理进行缺陷检测,可以自动实时对焦和多通道采集数据,具有低噪声和高分辨率成像等优势,采用基于深度学习的自动缺陷检测算法,晶圆检测与数据分析能够并行处理,满???英寸晶圆的生产检测与器件良率提升的需求、/p>
产品参数9/p>
应用范围:GaN外延片自动化缺陷检浊/p>
可测晶片尺寸?,6,8英寸
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