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技术参?/p>
| 项目 | 数据 |
| 设备型号 | M82 730 6K |
| 操作系统 | SXG-MPCVD控制系统 |
| 微波频率 | 2450MHz,输出功率?KW |
| 反应腓/td> | 承载功率?0KW |
| 生长?/td> | Φ2英寸 |
| 工作压力 | 10-200Torr |
| 标准气路 | 5?6路(可定制) |
| 测温系统 | 红外测温,测温范?00?400ℂ/td> |
| 系统真空密封性(氦质谱捡漏) | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泴/td> | 17.1 m3/H |
| 设备尺寸 | 主机?500MM(长?700MM(深?1880MM(高(br style="box-sizing: border-box;"/>电控柜:545MM(长)*765MM(深)*1740MM(高(/td> |
| 设备重量 | 主机?75KG;电控柜?85KG |
公司位于上海青浦区,具备一流的洁净生产车间和生产测试设备。我们有深厚的技术积累,核心团队由德国归国博士主导,研发团队由业内尖端技术人员组成,与国内外多所大学及研发机构建立了长期战略合作关系;我公司研发团队与德国FM集团联合攻关,以项目分工合作方式,在微波输出功率不同?KW?0KW)的情景下,以高科技的数字化手段模拟微波场的不同分布,实现定制适配器与真空腔体**结构?*结合,使得我们的新一代MPCVD设备性能更加优异;经过持续的技术研发,我们已在MPCVD行业技术领域具备一定知名度。我们立?*国内MPCVD行业,为所有合作方提供全方位的智能解决方案,并提供全面、专业的售后服务支持、/span>
公司坚持“设?工艺”的双优发展方针,以设备优化工艺,以工艺反驱设备,形成产业链的闭环发展和双向优化、/span>
目前已研发出微波等离子化学气相沉积系统,用于生产高等级和高纯净度的单晶合成金刚石;产品应用行业还可以跨越航空航天、半导体器件、光学、散热器件、量子计算机、珠宝首饰等各个领域;我公司同时也从事微波等离子体技术的应用和开发,并致力于微波等离子体技术的成果转化和产业化、/span>
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