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型号
M82 750B 6K品牌
顺心谶/span>产地
上海样本
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技术参?/p>
| 项目 | 数据 |
| 设备型号 | M82 750B 6K |
| 操作系统 | SXG-MPCVD控制系统 |
| 微波频率 | 2450MHz,输出功率?KW |
| 反应腓/td> | 承载功率?0KW |
| 生长?/td> | Φ2英寸 |
| 工作压力 | 10-200Torr |
| 标准气路 | 5?6路（可定制） |
| 测温系统 | 红外测温，测温范?00?400ℂ/td> |
| 系统真空密封性（氦质谱捡漏） | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泴/td> | 17.1 m3/H |
| 设备尺寸 | 1500MM（长?800MM（深?1980MM（高（/td> |
| 设备重量 | 490KG |
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