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产品优势９/strong>
?）独特的双轴支撑结构，降低了磨削单元间的振动和变形的相互干扰，有效提升设备的稳定性和加工质量的一致?/p>
?）多参数传感器测量系统，实时采集传输并分析处理设备运转参数，增强设备故障预测性维抣/p>
?）全流程自动化加工系统，实现多装置的高度集成，多功能兼容，降低人工干预，提升加工效率与安全?/p>
产品特点９/strong>
?）结构紧凑，轻量化设讠/p>
?）优异的结构刚?/p>
?）灵活配置，广泛应用?/p>
?）软件定制化，人性化操作界面
?）持久耐用，安全无?/p>
| 项目 | 技术参?/span> |
| 型号 | CMG200 |
| 加工材料 | SiC, Si, GaN等硬脆材?nbsp; |
| 加工晶圆尺寸 | 4/6/8英寸 |
| 砂轮直径 | 313mm |
| 可加?*厚度 | 60mm |
| 磨削主轴转逞/span> | 6000rpm |
| 磨削主轴功率 | 13KW |
| 片内厚度偏差TTV | 1.5μm |
| 表面粗糙度Ra | 3nm |
| 自动装夹装置 | 可选配 |
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