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1.可对 100 毫米 200 毫米的晶圆尺寸、/p>
2.所有设备均内置搬运系统和对准机构,导入后可立即投入生产、/p>
3.具备简单易懂的操作系统,任何人都能快速上手操作、/p>
4.具备配方管理、日志管理等强大的生产管理功能,可切实保障品质管理、/p>
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