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型号
INSPECTRA品牌
产地
日本样本
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光学系统阵容多样:可提供 BF(明场)/DF(暗场)/DIC(微分干涉对比)/ 特殊光学系统、/p>
检测工具:具备 AI-ADC 功能、多种数据输 / 输出接口、检测结果分析系统及配方共享功能、/p>
特殊晶圆适配:支持薄晶圆 / 翘曲晶圆检测,可适配面板检测、/p>
类型:硅晶圆、化合物晶圆、玻璃等
目标缺陷尺寸?gt;0.5 微米
检 throughput(产能)?gt;200 / 小时
暂无数据
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