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OpenLight 科研级晶圆缺陷检测平?/span>品牌
清软微视产地
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OpenLight 是面向高校和科研院所,应用于裸片、晶圆、芯片、器件等半导体各制程段产品的显微观测,是 AOI 算法、工艺验证、光学实验等应用的研发利?br style="box-sizing: border-box; color: rgb(102, 102, 102); font-family: -apple-system, BlinkMacSystemFont, "Segoe UI", Roboto, "Helvetica Neue", Arial, "Noto Sans", "Liberation Sans", sans-serif, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", "Segoe UI Symbol", "Noto Color Emoji"; text-wrap: wrap;"/>OpenLight 采用自主设计的超高速、大视野、高解析度的成像系统,集合无限远光学系统主镜筒、大功率全视野均匀照明系统、明?暗场/DIC 多观察方式、实?拟合对焦系统等部分,提供稳定显微成像方案;运动系统使用大理石基台配合独立隔振器,保证高速运动下稳定,消除对成像及检测的干扰
| 项目 | 内容 |
| 晶圆尺寸 | 4" / 6" / 8" / 12" |
| 检测相朹/td> | 线阵?k 128 TDI |
| Review 相机 | 面阵:彩 1200 万像紟/td> |
| 镜头 | 2X / 5X / 10X / 20X |
| 照明方式 | 高亮点光源反射式照明 |
| 对焦方式 | 硬件实时主动对焦 |
| 运动行程 | X?Y?Z轴:350/400/50mm |
| 整体尺寸 | 1300mm * 900mm * 1600mm |
暂无数据
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