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Alpha 9770 有图形晶圆缺陷检测设夆/span>品牌
清软微视产地
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有图形晶圆衬?外延无损检测设备Alpha 97709br style="box-sizing: border-box; color: rgb(102, 102, 102); font-family: -apple-system, BlinkMacSystemFont, "Segoe UI", Roboto, "Helvetica Neue", Arial, "Noto Sans", "Liberation Sans", sans-serif, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", "Segoe UI Symbol", "Noto Color Emoji"; text-wrap: wrap;"/>适用???英寸Si、SiC及LT Wafer等多种材料;
可针对半导体工艺制程中的COW及COT进行高效率、高精确度的缺陷检测;
采用先进的成像方式,即表面线阵快速扫描和高清面阵在线Review,确保了图像的清晰度和检测的全面性;
提供多倍率镜头选择,适应不同精度的检测需求、/p>
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