参考价栻/p>20-30万元
型号
FT-3110品牌
ROOKO产地
浙江宁波样本
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功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系绞/span>
PC软件采集和数据处理?/span>ASTM方法
自动止/span>/负电流输出，自动?负电压测野/span>
测量电阻率、方块电阻、厚?/span>
可调探针压力、测试点数、多秌/span>模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度倻/span>
提供标准校准电阻件、数据统计分枏/span>
适用范围Scope of application
晶圆?/span>非晶硄/span>/微晶硅和半导体衬应/span>电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等：/span>
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展（/span> |
1.方块电阻 |
10^-5?×10^5Ω/■/span> |
10^-6?×10^5Ω/■/span> |
2.电阻 |
10^-6?×10^6Ω-cm |
10-7?×106Ω-cm |
3.测试电流 |
0.1μA;1μA;10μA?00µA?mA＋/span> 10mA?00mA |
1A?00mA?0mA?mA?00uA?0uA?uA?.1uA |
4.电阻精度 |
?.3%（标准电阻） |
|
5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚 ?/span>2D?D图谱、报表生戏/span>筈/span> |
|
6.压力范围 |
探针压力可调范围９/span>100-500g |
|
7.採/span>钇/span> |
钨钢材质，探针间跜/span>1mm：/span>机械游移率：?.3%：/span>其他规格可定刵/span> |
|
8.载台类型及尺寷/span>选购 |
选购1:圆形载台晶圆尺寸９/span>2-12寷/span>＇/span>6寷/span>150mm＋/span>12寷/span>300mm（/span> 选购2９/span>方片载台尺寸９/span>153mm*153mm范围内定制规栻/span> |
|
9.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
|
10.重复?/span> |
单点重复性：重复?/span>≣/span>0.5% |
|
11.防护功能 |
具有限位量程和压力保抣/span>;误操作和急停防护;异常警报 |
|
12.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz＋/span>办/span>耗：<600W |
|
半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏筈/span>.
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
