参考价栻/p>面议
型号
皮秒精密激光切割机品牌
思莱兊/span>产地
上海样本
暂无主轴转速：
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-
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碳化硅硬度高、脆性大，传统机械切割易导致边缘崩裂、微裂纹和工具磨损。皮秒精密激光切割机主要利用其超短脉冲（皮秒级，1皮秒=10⁻¹²秒）带来的“冷加工”特性，能够显著减少热影响区（HAZ）和微裂纹，提升切割质量和效率、/span>
冷加工机刵/span> |
高精?/span> |
无接触加?/span> |
复杂形状适应?/span> |
皮秒激光通过极短脉冲直接气化材料，几乎不传递热量到周围区域，减少热损伤、/span> |
可实现微米级切割宽度?0-20μm），适合精细图形化或薄片切割如碳化硅晶圆划片、/span> |
避免机械应力，降低衬底破损风险、/span> |
可编程路径适合异形切割如芯片分割、盲槽加工、/span> |
皮秒精密激光切割机的工艺应?/strong>
碳化硅晶圆切片通过隐形切割技术，将激光聚焦于衬底内部形成改质层，再结合机械裂片实现无崩缺的高精度分离，尤其适合超薄晶圆?lt;100μm）。表面切割则通过优化脉冲重叠率（80%-90%）直接烧蚀切割道，控制热影响区并实?5-30μm的窄道宽。两种方法均避免刀具磨损，满足功率器件对小尺寸、高边缘完整性的需求，适配4/6/8英寸大晶圆的高效分割、/span>
暂无数据
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