参考价栻/p>面议
型号
碳化硅晶圆改质切割设夆/span>品牌
大族半导佒/span>产地
广东样本
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主要特点9/span>
设备特点9/span>
1、特制激光系?nbsp;
2、优异的切割效果
3、全自动生产
4、高精度视觉系统;自动对位,自动寻焦
5、高精密运动平台
6、兼?/6inch生产
7、SECS GEM标准接口
主要参数:
| 主要参数 | 加工尺寸 | 4inch?inch晶圆 |
| 加工速度 | 400-1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平台参数 | 行程300mm×300mm 重复定位精度±0.001mm | |
| 激光器参数 | 红外 | |
| 稼动玆/td> | 98%以上 | |
| 重大故障间隙时间 | ?000H | |
| 良率 | ?9.5% |
加工效果9/span>

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