参考价栻/p>面议
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前道涂胶显影朹/span>品牌
大族半导佒/span>产地
广东样本
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主要特点9/p>
设备特点9/p>
1、堆叠式高产能架构,占地面积導/p>
2、配备多段回吸的多腔体共用供胶系统,有效节省光刻胶的用量
3、选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件,满足更高标准工艺需汁/p>
4、核心单元模块化设计,组合方式灵活多变,**限度客制匕/p>
5、满足工厂FA自动化需汁/p>
6、可以与主流光刻机联朹/p>

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