参考价栻/p>面议
型号
全自动晶圆激光开槽设夆/span>品牌
大族半导佒/span>产地
广东样本
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主要特点9/span>
设备特点9/span>
1、采用特殊定制的脉冲宽度激光加工,专为晶圆激光加工定刵/span>
a、采用超短脉冲宽度加工,有效提高切割线品?/span>
b、特殊定制的脉冲宽度开槽后,热影响?lt;2um
2、整合多种激光微加工技术,切割效率和工艺窗口兼夆/span>
a、多种常规切割功能组合切换选择
b、采用Mask+TOP-HAT光斑组合模组
c、经过优化的双光路加工模练/span>
3、采用高精度视觉检测系绞/span>
4、可兼容8英寸?2英寸
5、自动上下料功能,无人值守全自动运行,批量化生?/span>
主要参数:
| 主要参数 | 加工尺寸 | 8inch?2inch |
| 加工速度 | 100mm/s~600mm/s | |
| 加工精度 | ≤?μm | |
| 平台参数 | 600mm*600mm | |
| 激光器参数 | 532nm?5W | |
| 稼动玆/td> | ?.95 |
加工效果9/span>

暂无数据
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