功率(kw):
1.5~3.7kW重量(kg):
定制化(按型号)规格外形(长*?高)9/p>695×285×850mm ~ 1050×515×950mm
Sreen其它辅助设备
SreenSDX/SDT/SDH 系列
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咨询樫山工业 SD 系列 干式螺杆真空泴/p>
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在半导体制造、真空热处理、化工真空工艺等场景中,高洁净、高可靠性的真空环境是保障产品质量与工艺稳定的核心。传统油式真空泵易产生油污染,维护成本高,难以满足高洁净度、连续运行的需求,成为高端制造的瓶颈、/p>
樫山工业 SD 系列干式螺杆真空泴/span>,为高洁净真空环境提供了一站式专业解决方案。这款设备继承了樫山工业经典的高工艺耐性,通过全新的散热系统与特殊耐蚀材料,进一步强化了过程适应性,可适配宽幅温度波动的各类严苛工艺场景;实现了行?*的小型化设计?0000L/min 级机 footprint 较传统机型削 35%,大幅节省安装空间;同时完成深度低功耗优化,显著降低运行成本、/p>
设备覆盖 10000~100000L/min 全量程排气速度,SDX 节能型、SDT/SDH 高工艺耐 / 超级热处理型多型号可选,满足不同工艺需求;通过 SEMI/CE/NRTL 全规格认证,高可靠性设计适配连续工业运行;搭载万向脚轮,移动便捷,安装灵活。从半导体晶圆制造的高洁净真空,到真空热处理的高温工艺+span style="font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-variant-alternates: normal; font-size-adjust: none; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-variant-position: normal; font-variant-emoji: normal; font-stretch: normal; font-weight: 700; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">樫山 SD 系列干式螺杆真空泴/span>都能提供稳定、洁净、高效的真空支持,是高端制造真空工艺的核心设备、/p>
高工艺耐性继承与升级?5% footprint 小型化设计,深度低功耗,SEMI/CE/NRTL 全认证,多型号覆盖全量程真空需求,适配半导体、热处理等严苛工艺
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