参考价栻/p>面议
型号
全自动隧道式显影清洗朹/span>品牌
容道礽/span>产地
江苏样本
暂无清洗/消毒设备
全自动隧道式显影清洗朹/p>
国产清洗/消毒设备
看了全自动隧道式显影清洗机的用户又看亅/p>
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产品特点
适用于宽2000mm以内玻璃片的显影清洗工艺:/p>
产品主机由上料单元、显影单元、清洗单元、风干单元、下料单元组成;
设备支持SEMI GEM标准:/p>
采用多种安全保障措施和安全装置;
采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单,工艺全过程直观、全面显示,互动性强:/p>
系统控制全面、抗干扰性强、可靠性高、维修方便,具有故障提示和安全报警功能;
设备运行稳定、可靠、集成度高,结构合理紧凑,操作方便;
可根据客户工艺制程特殊需求进行定制化服务、/p>
功能简今/span> |
规格与说昍/span> |
晶片尺寸 |
?500mm?000mm以内 |
设备产能 |
依工艺条件而定 |
衬底材质 |
玻璃 |
适用工艺 |
G-line |
应用领域 |
大尺寸显屎/span> |
FFU |
配置FFU洁净系统 确保洁净度达栆/span> |
电机 |
采用高精度伺服电朹/span> |
显影 |
配置高压喷射装置 (压力可根据制程要求设置(/span> |
清洗喷嘴 |
采用星状分布喷嘴 |
风干 |
配置正反面自研风刀式干燥氮气吹扫, 效率更高 |
流量讠/span> |
按客户工艺要求选配 |
控制系统 |
工控机?nbsp;17“触摸屏 (可按客户需求配置) |
操作系统 |
WINDOWS、图形化人机界面、可编程 |
通讯与信息化 |
以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接 |
厂务 |
标配水、电、气、液I/O接口 |
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