参考价栻/p>面议
型号
全自动匀胶显影机品牌
容道礽/span>产地
江苏样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
全自动匀胶显影机
国产半导体行业专用仪?/p>
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产品特点
适用?2?吋晶圆的显影工艺:/p>
产品由上料单元、传送单元、显影单元、控制系统单元组成;
设备支持SEMI GEM标准:/p>
采用多种安全保障措施和安全装置;
功能简今/span> |
规格与说昍/span> |
晶片尺寸 |
12吋、兼?吊/span> |
设备配置 |
2C2D?C?D |
设备产能 |
依工艺条件而定 (伺服电机完全可满足ARM转送速度要求(/span> |
衬底材质 |
Si、Glass、Sapphire、GaAs?nbsp;InP、GaN、SiC筈/span> |
适用工艺 |
G-line、i-line?nbsp;Pl |
应用领域 |
功率器件、光通讯、科研?nbsp;LED、射频集成?nbsp;MEMS筈/span> |
显影电机 |
**转?000rpm?*加速度3000rpm、精度?rpm 、水冶/span> |
流量讠/span> |
按客户工艺要求选配 |
控制系统 |
工控机?nbsp;17“触摸屏 (可按客户需求配置) |
操作系统 |
WINDOWS、图形化人机界面、可编程 |
通讯与信息化 |
以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接 |
厂务 |
标配水、电、气、液I/O接口 |
暂无数据
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