功率(kw):
AC100-240V,额定功 0.35kW重量(kg):
45kg(含主机,不含显示器(/span>规格外形(长*?高)9/p>紧凑型整机,参考尺寸约 W500×D500×H650mm(定制)
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SreenTOMOS-80XY
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咨询日本 FLOVEL TOMOS-80XY 电动 XY 平台双面显微镛/p>
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日本 FLOVEL TOMOS-80XY 电动 XY 平台双面显微镜系绞/span>,是专为半导体晶圆、MEMS、大尺寸电子元器件打造的全自动高精度双面检测设备,搭载 200×200mm 大行程电 XY 平台与自动对焦功能,可实现预设测量点位自动移动、双面同步拍摄、全自动位置偏移与尺寸测量,彻底解放人工,适配无人化产线检测需求、/p>
设备搭载 320 万像 CMOS 相机(彩 / 黑白可选),支 5/10/20 倍物镜切换,Z ±10mm 焦距调节并集成自动对焦;配备双路白色 LED 照明(软件控制正 / 倒立),适配落射、透射、复合照明模式,清晰呈现样品表面与深层特征。内置表裏光轴补偿、镜头倍率补偿、相机角度补偿等功能,精准校正双面光路,实现无失真测量;支持自动边缘检测、中心坐标提取、位置偏移计算、双面图像合成,可批量完成多点位自动测量,生成地图式检测报告,彻底消除人工测量误差、/p>
设备搭载 Windows 11 Pro 控制系统,支持竖屏双画面同步显示、测量数据自动输出、地图制作、连续移动测量等功能;支持软件与样品夹定制,可根据工件形状定制专属夹具与测量算法,广泛应用于半导体晶圆、水晶振子、MEMS、电子元器件等的双面位置偏移、尺寸测量、外观缺陷检测,是半导体高端制造与自动化产线的核心检测设备、/p>
大行程电动控制:200×200mm 电动 XY 平台,预设点位自动移动,无人化批量检浊br /> 自动对焦功能:Z 轴自动对焦,适配不同高度样品,无需人工调节
双面同步高精度检测: 320 万像素相机同步拍摄,微米级光轴补偿,精准测量位置偏移
全倍率多场景适配?/10/20 倍物镜,覆盖全景到细节的全流程检浊br /> 丰富自动化功能:自动边缘检测、地图制作、连续测量、数据自动输凹br /> 定制化扩展:支持软件与样品夹定制,适配各类工件与产线需汁br /> 工业级稳定设计:双路照明、光路补偿,适配半导体洁净车间环境
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