一、产品概�?/h2>

Gemini 500 磁控溅射仪是博远微朗（北京）技术发展有限公司自主研发的紧凑型磁控溅射镀膜设备，专为科研实验室及工业研发场景设计，基于物理气相沉积（PVD）中的磁控溅射原理，可实现金属、氧化物等多种材料的均匀薄膜沉积，广泛应用于材料科学、电子显微样品制备、光学器件、传感器研发等领域。设备采用一体化设计，兼具高精度、易操作与高稳定性，是小型化薄膜制备的理想选择、�/p>

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二、制造商信息

• 企业名称：博远微朗（北京）技术发展有限公司（VPI（�/p>

• 成立时间：始� 2004 平�/p>

• 企业地址：中国北京市海淀区龙岗路 51 号院 6 号楼 2 屁�/p>

• 官方网站９�/p>

• 全球站：

• 中国站：

• 电话�?5321******

三、核心技术参�?/h2>

项目	参数详情
设备型号	Gemini 500
主机尺寸	� 423mm × � 370mm × � 390mm（含腔体（�/td>
标配靶材	PT（铂），尺寸�?0mm × 0.1mm（直� × 厚度（�/td>
样品室规栻�/td>	金属腔体 + 玻璃腔体，直� 180mm × � 150mm（直� × 高度（�/td>
溅射方式	磁控溅射
样品台参�?/td>	直径 φ70mm，可旋转（触摸屏调速），高度可调范� 40-80mm
电源系统	直流电源，功率连续可调；**电压 1600V，溅射电� 0-100mA
靶材通用尺寸	φ50mm
真空性能	**真空� 1Pa，真空测量采用皮拉尼式，真空系统配置机械泴�/td>
镀膜能劚�/td>	镀膜面� 50mm，溅射速率 0-60nm/min
膜厚控制	膜厚仪监控范� 0~6000nm，监控速率精度 0.001nm/s，可与触摸屏程序联动控制，实时监测膜厚（选配（�/td>
人机交互	7 寸触摸屏，搭� VPI 人机界面，支持手� / 自动双模式操佛�/td>
工艺拓展	可通入多种工艺气体，适配不同材料的溅射需汁�/td>
电气参数	主机功率 500W，工作电� 220V，频� 50Hz
认证资质	具备 CE 认证，符合相关安全标凅�/td>

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四、设备核心优劾�/h2>

1. 精准可控的镀膜过稊�/span>设备配备高精度膜厚监控系统，可实� 0.001nm/s 级别的速率监控，搭配可旋转、高度可调的样品台，确保薄膜沉积均匀性，满足科研实验对薄膜厚度的严苛要求、�/p>

2. 便捷灵活的操作体骋�/span>搭载 7 寸触摸屏人机界面，支持手动与自动两种操作模式，新手也能快速上手；工艺参数可实时调整，适配不同实验场景的定制化需求、�/p>

3. 稳定可靠的性能保障采用直流连续可调电源与机械泵真空系统，搭配成熟的磁控溅射技术，设备运行稳定，可长期为科研实验提供可靠的镀膜支持、�/p>

4. 紧凑型设计，适配实验室场�?/span>主机体积小巧，无需占用大量实验室空间，同时兼顾玻璃腔体的可视化观察，可实时监控溅射过程，便于实验过程中的参数优化、�/p>

5. 高兼容性与拓展�?/span>支持多种工艺气体通入，标配铂靶材的同时，可适配 φ50mm 规格的其他靶材，满足不同材料体系的薄膜制备需求，适配材料、电子、光学等多领域研发场景、�/p>

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五、典型应用场�?/h2>

• 电子显微样品制备：为 SEM/TEM 等电镜样品制备导电金属薄膜，解决绝缘样品荷电问题，提升成像质量、�/p>

• 材料科学研究：制备金属、氧化物、氮化物等功能薄膜，用于薄膜性能表征、界面研究等科研工作、�/p>

• 光学与光电器仵�/span>：制备光学反� / 透射薄膜、电极薄膜，用于光学器件、传感器、微型光电器件的研发、�/p>

• 教学与实验教�?/span>：高校、科研院所的薄膜制备教学实验，帮助学生理解磁控溅射原理与薄膜沉积过程、�/p>

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六、设备使用与维护提示

• 日常使用前需检查真空系统密封性，定期维护机械泵，确保设备真空性能稳定、�/p>

• 更换靶材时需在真空腔室泄压后操作，避免腔室污染；实验结束后需按规范程序关闭设备，延长设备使用寿命、�/p>

• 如需拓展工艺参数或定制化需求，可联系厂商技术团队获取支持、�/p>

七、服务与支持

博远微朗（北京）技术发展有限公司提供完善的售前、售中与售后服务９�/p>

• 售前可根据您的实验需求提供定制化工艺方案咨询：�/p>

• 设备交付后提供安装调试与操作培训服务：�/p>

• 长期提供设备维护、靶材更换、技术升级等售后支持。如需了解更多细节或获取报价，欢迎通过官网或邮箱联系我�?/p>