参考价栻/p>1-5万元
型号
/KT-Z1650CVD品牌
郑州科探仪器设备有限公司产地
郑州样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
/KT-Z1650CVD
国产半导体行业专用仪?/p>
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KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全。配?寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈，样品台旋转，样品高度调节，及自动电 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜、/p>
技术参?/p>
控制方式 |
7寸人机界面手 自动模式切换控制//晶控模式（需配膜厚仪（/p> |
加热方式 |
数字式功率调整器 |
镀膜功胼/p> |
0-999?段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
**功率 |
?200W |
输出电压电流 |
电压?2V 电流?20A |
真空?/p> |
机械 ?Pa?分钟）分子泵?*10^-3Pa |
挡板类型 |
电控 |
真空腔室 |
透明玻璃腔体?60mm ×170mm |
样品?/p> |
可旋转中75（可安装?0基底（/p> |
样品台转逞/p> |
8?分钟 |
样品溅射源调节距禺/p> |
40-70mm |
蒸发温度调节 |
?800°C |
支持蒸发坩埚类型 |
钨丝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埙/p> |
预留真空接口 |
Kf25抽气 KF16真空计接 放气叢/p> |
真空测量 |
电阻真空计（已安装测量范?0E5Pa 1E-1Pa（/p> |
可选配扩展 |
1：机械真空泵抽?mYh（≤5Pa?分钟（/p> 2：分子泵机组（可抽真?0分钟?*10^-3Pa（/p> 3：膜厚仪：（厚度范围0-9999A，厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A，速率显示分辨 0.1A，晶振频?-6MHz（/p> |
标配 |
1台小型蒸镀仪KT-Z1650CVD主机，电源线、合格证、说明书、保修卡各一?/p> |
暂无数据
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