参考价栻/p>5-10万元
型号
2欽/span>品牌
产地
郑州样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
2欽/p>
国产半导体行业专用仪?/p>
看了探针台的用户又看亅/p>
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高低温型 |
-190°C~400°C（高温型：室温～400°C选配（/p> |
腔体材质 |
304不锈钡/p> |
腔体内尺寷/p> |
ф90x40mm |
腔体上视窗尺寷/p> |
?2mm（选配凹视窗中22mm（/p> |
腔体抽气叢/p> |
Kf16 |
腔体进气叢/p> |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可逈/p> |
腔体出气叢/p> |
公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可逈/p> |
腔体正压 |
?.05MPa |
腔体真空?/p> |
机械泵≤5Pa?分钟）分子泵?E-3Pa?0分钟（/p> |
样品台材?/p> |
304不锈钡/p> |
样品台尺寷/p> |
28X28mm |
样品?视窗 距离 |
30mm（（可选凹视窗间距15mm（/p> |
样品台测温传感器 |
Pt100铂电阺/p> |
样品台温?/p> |
-190°C?00°C（可选高温样品台高温400°C（/p> |
样品台测温误?/p> |
?.5°C |
样品台变温速率 |
高温20°C/min 低温20°C/min **倻/p> |
温度显示 |
7寸人机界靡/p> |
温控类型 |
标准PID温控＋自整定（可?0段编程控温） |
温度分辨玆/p> |
0.1°C |
温控精度 |
?.5°C |
温度信号输入类型 |
Pt100热电阻（可选K SB型热电偶（/p> |
温控输出 |
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
辅助功能 |
温度数据采集并导 实时温度曲线+历史温度曲线 |
电学性能 |
绝缘电阻 ?000M 介质耐压 ?00V 电流噪声 ?0pA |
探针数量 |
4探针（可定做6探针（/p> |
探针材质 |
镀金钨钇/p> |
探针尕/p> |
10um/50um |
X轴移动行稊/p> |
12mm ?mm |
X轴控制精?/p> |
?um |
Y轴移动行稊/p> |
12mm ?mm |
Y轴控制精?/p> |
<5um |
Z轴移动行稊/p> |
12mm ?mm |
Z轴控制精?/p> |
<5um |
标配 |
1台KT-0904T-RL微型探针台一台?台触摸屏温控箱?根电源线?根触摸屏笓/p> 1根功率输出线?套K型上盖扳手、备用螺丝，内六觑/p> |
选配 |
分子泵机组机械泵 CCD相机真空计源表气浮台 |
暂无数据
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工商已核宝/p>
