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型号
PLATO系列品牌
HORIBA产地
上海样本
暂无HORIBA成像系统
HORIBAPLATO系列
国产成像系统
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产品特点
测量项目：峰值波长、峰值强度、积分强度、半峰宽（FWHM）、AlGaN 层中铝含野/p>
厚度测量：GaN 层薄膜厚?/p>
弯曲度测量（可选）
符合 SEMI 标准的晶圆：2”?”?”?50 mm?00 mm
符合 SEMI 标准 300 mm 晶圆（可选）
可选激光波长：213 nm?66 nm?25 nm?75 nm?05 nm?32 nm?80 nm?064 nm 筈/p>
自动对焦功能，可在不修改测量配置的情况下测量不同厚度的晶圅/p>
支持 Excel、CSV 导出，格式灵洺/p>
兼容 SECS/GEM、MES
优秀的光致发光（PL）成像系统，全球销量超 250 台（覆盖 9 个国家?3 位客户）
产品概要
PLATO GaN 功率器件/UV-C
自动光致发光扫描成像系统
PLATO 数据示例: UV-C ?13 nm 激光激发）
PLATO 数据示例: GaN 功率器件 Al% ?66 nm 激光激发）
Bow 测量结果示例（位移传感器（/p>
PLATO VCSEL & NIR LD
自动光致发光扫描成像系统
PLATO 数据示例: 940 nm VCSEL
PLATO 数据示例: 光通信和气体传感器（NIR波段（/p>
PLATO 特殊功能
PLATO 参数
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
