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型号
HORIBA PD-Xpadion品牌
HORIBA产地
上海样本
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HORIBAHORIBA PD-Xpadion
国产测量/计量仪器
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PD-Xpadion HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线?*一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合，允许用户扩 PD Xpadion 系统，不仅包括颗粒检测，还包括通过拉曼分析进行颗粒表征，膜膜厚度和均匀性，以及膜健康监测工具、/p>
产品特色
高机械强健度：平均故障间隔时间高 1500 个小时；可以保证98%以上的正常运行时间、/p>
高灵活性：可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描；兼容 ASML, NIKON，CANON 等一系列厂商的光罩盒；可以支持不同的光掩膜承载手段、/p>
高性能：可以实现光掩膜三个面的扫面（玻璃面，薄膜面以及图形面）；单面的扫面时间仅需 4 分钟；标 0.5 um 的精度；良好的误检过滤算法、/p>
高模块化：可以连 OHT/EFEM 等自动化设备；可以连接颗粒去除系统（见下图）；可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征、/p>
核心参数
精度规格?.5 um/0.35 um/0.1 um
吞吐量：12 min/ （上下两面扫描）
环境光罩尺寸??9寷/p>
正常运行时间?8%
技术指栆/strong>
暂无数据
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HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的工作原理介绍＞/li>HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的使用方法＞/li>HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置多少钱一台？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的说明书有吗？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的报价含票含运费吗＞/li>HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置有现货吗？凤凰城有办事机构吗？凤凰城销售电话是多少＞/li>
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