参考价栻/p>面议
型号
MiPLATO-SIC品牌
HORIBA产地
北京样本
暂无HORIBA测量/计量仪器
HORIBAMiPLATO-SIC
国产测量/计量仪器
看了MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统的用户又看亅/p>
留言询价
电话询价
咨询MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系绞/p>
使用微信扫码拨号
MiPLATO-SiC 碳化硅晶圆缺陷检测系统是针对 SiC 晶圆优化 PL 扫描成像系统、/p>
该系统利用螺旋扫描技术，可在短时间内获取整片晶圆的光致发光信息，从而实现缺陷密度、载流子寿命及膜厚变化的同步测量。其深度学习功能可进行自动缺陷分类，实现先进的缺陷类型识别与评估。在光谱扫描成像过程中，自动导航功能可通过 PL 光谱坐标、DIC 图像、平台坐标等数据实现缺陷位置的识别与自动追踪。并且，该系统还能够检测并分析晶圆上的微小缺陷、/p>
产品特点
使用 355 nm 激光同时进 3 通道光致发光?通道微分干涉相衬显微成像（DIC）测野/p>
基于深度学习的缺陷分枏/p>
微分干涉相衬显微成像（DIC）表面检浊/p>
355 nm 激发的反射式微分干涉相衬显微成像（DIC（/p>
胡萝卜状、划痕、水滴状?-C 三角形缺陶/p>
带边 PL 检测方法，额外提供 2 种数据供用户参耂/p>
BPD、肖克利堆垛层错、条状堆垛层锘/p>
结合光谱仪进行光致发光光谱成僎/p>
全晶圆扫描成僎/p>
对成像数据中指定区域进行光谱分析
自动导航功能
基于 PMT 成像，光谱测量和图像处理结果的自动缺陷检浊/p>
通过光谱分析实现精确的堆垛层错分籺/p>
光路配置
配备 1800 RPM?*转速）旋转平台的螺旋扫揎/p>
单探头型&双探头型（开发中（/p>
配备 50 倍物镜的微区 PL
光斑尺寸 2μm
多探测器 :
默认配置：反射式 DIC、带 PL、光谱仪
额外两个可定 PL 探测?/p>
衬底和外延晶圆的 Macro 扫描成像可用 QC
机器与机器间
晶棒与晶棒间
同批晶棒的晶圆与晶圆闳/p>
晶圆均匀?/p>
> 5 分钟/ 6“，3 mm 步进
光谱采集过程的屏幕截?nbsp;
1. PMT 扫描成像结果
2. 待测 SF 的裁剪图僎/span>
3. SF 的光谱数?/span>
4. 光谱 SF 的详细信?/span>
5. 已分 SF 的报呉/span>
产品配置
暂无数据
在深空探测任务中，高精度光学光栅作为光谱分析的核心部件，能够捕捉遥远天体的微弱光学信号，精准解析行星大气成分、磁场活动与极光现象，为人类探索宇宙奥秘提供关键观测依据。NASA 2011 年发射的
以“先进材料分析测量技术，解锁新质能源发展密码”为主题?026 年度堀场雅夫奖现已开放申请。本届奖项聚焦能源器件与材料研发制造的分析测量技术创新，助力提升能源设备性能与可靠性，推动全球能源转型与碳?/p>
从材料研发到量产良率，化合物半导体的产业化之路，每一步都依赖于精准的“丈量”。自 2025 年完成对韩国领先化合物半导体晶圆检测企 EtaMax 的收购以来，HORIBA 持续推进双方技术整合，将自
新能源汽车是目前汽车发展的方向之一，各大车企或企业都纷纷推出了新能源商用汽车。相对于传统燃油车使用内燃机作为主要驱动，大部分新能源汽车选择对环境友好的质子交换燃料电池(Proton Exchange
MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统的工作原理介绍＞/li>MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统的使用方法＞/li>MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统多少钱一台？MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统的说明书有吗？MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统的报价含票含运费吗＞/li>MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统有现货吗？凤凰城有办事机构吗？凤凰城销售电话是多少＞/li>
手机版：
工商已核宝/p>
