认证信息
称：
柯林斯空气净化科技（无锡）有限公司
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产品分类
产品简今/div>
典型应用
气体行业、半导体工艺设备，如 CVD,MOCVD, 硅外延，光纤，太 能光伏等
工艺介绍
主要针对N2、H2、Ar、He 等稀有气体中杂质02 H20、CO2, 常温下采用吸附剂的化学催化、物理吸附技术，对以上杂质深度脱除，节省空间，安装简捷，使用方便、/p>
纯化指标?/strong>
气体类别 |
可纯化气佒/p> |
去除杂质 |
纯化指标 |
D-惰性气佒/p> |
N2、Ar、He、Ne、Kr |
H₂O?₂、CO、CO₂、H₁/p> |
<1ppb |
Y-氧气 |
0₁/p> |
H₂O、CO₁/p> |
|
Q-氢气 |
H₁/p> |
H₂O?₂、CO、CO₁/p> |
*表中只列出典型的和常见的气体，更多可纯化气体请与柯林斯联糺/p>
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