典型应用

化工行业、硅片产业� LED、激光、航空航天业，光纤产丙�/p>

工艺介绍

1、气体通过催化和吸附工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2 、THC等杂质、�/p>

2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用、�/p>

纯化指标�?/strong>

气体类别	可纯化气佒�/p>	去除杂质	纯化指标
D-惰性气佒�/p>	N₂、Ar、He、Ne、Kr	H�?�?₂、CO、CO₂、H₂、THC	<10ppb
Y-氧气	O₁�/p>	H₂O、CO₂、CO、H₂、THC
Q-氢气	H₁�/p>	H₂O�?₂、CO、CO₂、THC