柯林斯空气净化科技有限公司生产的高�?超高压系列纯化产品采用国际先进的催化�?吸附剂和吸气�?Getter)技术，可用于纯化大宗气�?N�?Ar,He,H�? 0�?CO₂等),气体流量�?0Nm3/h�?0000Nm3/h, 压力范围�?6MPa �?4MPa, 纯化� 气体中H₂O、O₂、CO、CO₂、CH4等分项杂质含量小�?ppb� 该系列纯化设备可应用于超高纯气体生产、标准气体和电子混合气的平衡气纯化等、�/p>

典型应用

芯片半导体� LED、激光、光纤行业、集成电路产丙�/p>

工艺介绍

1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20 和CO2

2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用、�/p>

3 、气体通过多级物理吸附，常温催化工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2等杂� 、�/p>

纯化指标�?/strong>

气体类别	可纯化气佒�/p>	去除杂质	纯化指标
D-惰性气佒�/p>	N2、Ar、He、Ne、Kr	H₂O�?₂、CO、CO₂、H₂、THC	<1ppb
Y-氧气	O₁�/p>	H₂O�?₂、CO、CO₂、THC
Q-氢气	H₁�/p>	H�?�?₂、CO、CO₂、THC

*表中只列出典型的和常见的气体，更多可纯化气体请与柯林斯联糺�/p>