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高真空有æœ?金属蒸å‘镀膜机 ZHDS400
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å“牌9ü/td> ç ”åšæ™ºåˆ›
产地9ü/td> 河北
关注度: 370
åž‹å·ï¼™ü/td> 高真空有æœ?金属蒸å‘镀膜机 ZHDS400
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产å“介ç»

ä¸€ã€æ•´æœºç®€è¿ 特点/ç”¨é€ ZHDS400型高真空有机/金属蒸å‘镀膜机是纳米薄膜沉积系统与手套箱系统的有机结åˆï¼Œè¯¥è®¾å¤‡å¯åœ¨æƒ°æ€§æ°”ä½“ä¿æŠ¤çš„çŽ¯å¢ƒä¸‹å®Œæˆè£…片ã€è£…æ–™åŠæ¢æ–™å–ç‰‡ç­‰å·¥ä½œï¼Œå¹¶ä¸”ç”±äºŽé‡‡ç”¨æƒ°æ€§æ°”ä½“çš„å·¥ä½œçŽ¯å¢ƒåŠæ— æ²¹çœŸç©ºç³»ç»Ÿä½¿é•€è†œæœºå¯æ›´å¿«çš„到达高真空,获得æ´å‡€çš„真空环境;本设备共é…ç½®4ç»„è’¸å‘æºï¼Œç»„åˆé…ç½®çµæ´»ï¼Œå…·å¤‡å•层蒸镀ã€å¤šæºå…±è’¸ã€åˆ†å±‚镀膜等功能〠蒸å‘镀膜与手套箱环境无ç¼å¯¹æŽ¥èžåˆï¼Œå®žçŽ°è’¸é•€ã€å°è£…ã€æµ‹è¯•等工艺无ç¼å¯¹æŽ¥ï¼Œç¨³å®šæ€§æ›´é«˜ã€‚å¹¿æ³›åº”ç”¨äºŽæœ‰æœºã€æ— æœºé’™é’›çŸ¿å¤ªé˜³èƒ½ç”µæ± ã€é”‚电池åŠOLED薄膜等研究系统;纳米薄膜光电å­å™¨ä»¶åˆ¶å¤‡åŠç”Ÿäº§çº¿å‰æœŸå·¥è‰ºè¯•验等ã€ü/span>

二ã€è®¾å¤‡ä¸»è¦æŠ€æœ¯å‚æ• 1.有机/金属镀膜室 镀膜室尺寸:L400mm×W440mm×H450mmï¼›SUS304ä¸é”ˆé’¢åˆ¶ä½œï¼Œæ–¹ç®±å¼ï¼Œé…有å‰ã€åŽé—¨ï¼Œå‰é—¨æ°´å¹³æ»‘å¼€å¼ï¼Œæè´¨ä¸ºé”»é“,便于手套箱内æ“作;åŽé—¨ä¸ºä¾§å¼€é—¨ï¼Œä¾¿äºŽè®¾å¤‡æ¸…ç†ç»´æŠ¤ï¼›ç‰¹ç‚¹ï¼šé•€è†œå®¤é…置独立机架,å¯åœ¨è„±ç¦»æ‰‹å¥—ç®±æ¡ä»¶ä¸‹å•独调试和使用,与手套箱之间通过镀膜室å‰é—¨æ¡†å¯†å°è¿žæŽ¥ï¼Œå¯¹æŽ¥æ–¹ä¾¿ã€å¯†å°å¯é ï¼› 2.真空系统 å¤åˆåˆ†å­æ³?ç›´è”æ—‹ç‰‡æ³?é«˜çœŸç©ºæ’æ¿é˜€é«˜çœŸç©ºç³»ç»Ÿï¼Œâ€œä¸¤ä½Žä¸€é«˜â€æ•°æ˜¾å¤åˆçœŸç©ºè®¡ï¼ 3.真空指标 æžé™çœŸç©ºï¼šä¼˜äº?.0×10-5Paï¼?设备和手套箱分体,设备空载抽真空24å°æ—¶) 抽速:从大气抽è‡?.0×10-4Paâ‰?0minï¼ è®¾å¤‡å‡åŽ‹çŽ‡ï¼šâ‰?.8Pa/hï¼ è®¾å¤‡ä¿åŽ‹ï¼šåœæ³?2å°æ—¶å€™åŽï¼Œè®¾å¤‡çœŸç©ºåº¦â‰?0Paï¼ 4.åŸºç‰‡å æŠ½å±‰å¼ç»“构,承载å°äºŽ120×120mm基片ï¼?nbsp;é…æœ‰æ°”åŠ¨åŸºç‰‡å°æŒ¡æ¿ï¼› 基片å°ç”µæœºé©±åŠ¨ï¼Œæ—‹è½¬é€Ÿåº¦0ï½?0è½?分钟å¯è°ƒï¼ 手动å‡é™ï¼Œå‡é™åŸºç‰‡å°å¯è°ƒèŠ‚èŒƒå›?0mmï¼ å¯æ ¹æ®ç”¨æˆ·è¦æ±‚定制掩膜æ¿1套; 5.基片å°åŠ çƒ åŠ çƒ­æ¸©åº¦ï¼?00℃,PIDæ™ºèƒ½æ¸©æŽ§é—­çŽ¯æŽ§åˆ¶ï¼ 6.è’¸å‘æº ①金属æºï¼šæ°´å†·é“œç”µæž2组; 逆å˜å¼è’¸å‘电æºï¼šåŠŸçŽ‡3000Wï¼?å°ï¼ˆ1å°ç”µæºå¯åˆ‡æ¢2ç»„è’¸å‘æºï¼‰ï¼› ②有机æºï¼šæŽ§æ¸©æœ‰æœºè’¸å‘æºï¼ˆæ¸©åº?00°),2组; æœ‰æœºè’¸å‘æºç‰¹ç‚¹ï¼šè§’度å‘心å¯è°ƒï¼ˆæé«˜ææ–™åˆ©ç”¨çŽ‡ï¼Œå‡åŒ€æ€§å¥½ï¼‰ï¼Œè’¸å‘é€ŸçŽ‡å¯æŽ§ï¼ æœ‰æœºæŽ§æ¸©è’¸å‘电æºï¼?套(独立PID智能温控蒸å‘); â‘¢è’¸å‘æºé…气动挡æ¿åŠæºé—´é˜²æ±¡éš”æ¿ï¼ 7.膜厚控制系统 é€‰é… 8.æŽ§åˆ¶æ–¹å¼ é‡‡ç”¨PLC+触摸å±åŠè‡ªåŠ¨æŽ§åˆ¶ï¼ 9.报警åŠä¿æŠ 对泵ã€ç”µæžç­‰ç¼ºæ°´ã€è¿‡æµè¿‡åŽ‹ã€æ–­è·¯ç­‰å¼‚å¸¸æƒ…å†µè¿›è¡ŒæŠ¥è­¦å¹¶æ‰§è¡Œç›¸åº”ä¿æŠ¤æŽªæ–½ï¼›å®Œå–„çš„é€»è¾‘ç¨‹åºäº’é”ä¿æŠ¤ç³»ç»Ÿã€ 10.å åœ°é¢ç§¯ L4800mm×W1600mm×H1900mm(å«1.8米手套箱(ü/span>

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