曝光光源

350W�?00W�?KW�?KW汞灯/UV-LED

晶圆尺寸

2�?12“�/span>

均匀�?/span>

�?nbsp;±3�?nbsp;�?nbsp;≤�?�?nbsp;

对准精度

±1μm（选配±0.5μm（�/span>

分辨玆�/span>

±1μm（选配±0.8μm（�/span>

产能

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