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科毅科技股份有限公司
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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
产品简今/div>
项目 |
参数 |
外形尺寸 |
900*1000*1750mm |
RF电源 |
功率0-600W_x0001__x0001_频率13.56MHZ |
电极尺⼨ |
420×411mm |
真空泴/span> |
60m3/h |
路配?/span> |
标配两路,可定制 |
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