IoN 100 是一种筒式等离子体反应器，专为研发和生产应用而设计。该技术基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla �?0 多年的时间里开发的经过验证的反应器设计。IoN 100 使用更大的机箱，提供所有气体和电源连接、�/p>

功能包括９�/p>

即插即用自安裄�/p>

柔性电�?/p>

带液晶触摸屏和键盘的工业计算机、�/p>

基于Windows 的操作系统、�/p>

图形用户界面(GUI) 软件符合

CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101

多级用户访问

软件

用于快速和多功能步骤控制的配方编辑�?/p>

板载诊断功能和报警记彔�/p>

通过以太网进行远程过程监�?/p>

基于网络的在线模�?培训/支持

机箱上的泵电源插�?/p>

节能功能—泵控制

典型应用９�/p>

表面清洁

表面活化

表面功能匕�/p>

矽氧烷和有机薄膜的沉�?/p>