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讯 粉体原料在碳化硅单晶生长过程中发挥着重要作用,其粉体纯度直接影响单晶生长质量和电学性能——尤其对大尺寸碳化硅衬底(如8英寸)。制备高纯SiC粉料一直是SiC单晶生长领域的研究热点。下面,我们一起来了解国内目前有哪些专业生产半导体级高纯碳化硅粉料的企业。
河南中宜创芯发展有限公司
河南中宜创芯发展有限公司成立于2023年5月24日,注册资本金3亿元,公司位于平顶山市卫东区河南电子半导体产业园内,是由中国平煤神马控股集团和平顶山发展投资控股集团共同出资设立的合资公司。公司主要开展年产2000吨碳化硅半导体粉体的开发和生产,努力打造全国最大的碳化硅半导体材料基地。
项目一期500吨生产线于2023年6月20日开工建设,90日建成并开始试生产创造了国内行业建设最快、投产最快、达产最快的“河南速度”,产品纯度最高达到99.999998%。被河南省委赞誉为“转型发展的典范,贯彻省委换道领跑战略的典范,打造世界一流企业的典范”。
目前公司生产的碳化硅半导体粉体有:半绝缘型、掺氮型、不掺氮型、立方型等,其特点是:产品纯度高,种类齐全,作为碳化硅半导体原料,广泛应用于碳化硅单晶生长。产品已在国内三十多家企业和科研机构得到验证,十几家已经开始批量供货。
绍兴晶彩科技有限公司
绍兴晶彩科技有限公司是国内可以生产粒度从亚微米级到毫米范围半导体级碳化硅粉料的企业。主营第三代半导体碳化硅单晶专用的多晶粉体、高纯石墨粉、高纯石墨件、高纯石墨毡;半导体制程所需的高精密特种碳化硅陶瓷件专用超高纯粉体;5G领域专用的热管理材料导热填料。
公司致力于成为第三代半导体碳化硅单晶高纯原辅材料研发与生产的高科技型企业,目前已有一大批具有超高纯度(6N及以上)、粒径尺寸及均一性、晶型一致性的优质产品投入批量生产。
宁波阿尔法半导体有限公司
公司成立于2018年,高新技术企业,投资20亿元,占地105亩,厂房面积40000㎡,第三代半导体—SiC粉料、晶体和衬底的研发生产与销售的高新技术企业。2024年5月内蒙工厂投产,高纯碳化硅粉料产能800吨/年。
武汉金信新材料有限公司
据金信新材料负责人介绍,公司用了5年时间,攻克了碳化硅原料超高纯度提纯以及6到8英寸碳化硅晶锭生产的技术难题,实现了8英寸碳化硅衬底材料的规模化生产。据了解,金信新材料主要研发生产半导体碳化硅晶锭、半导体超高纯碳化硅粉料及超纯碳化硅结构件等产品,广泛应用于芯片和光伏领域。
西安博尔新材料有限责任公司
西安博尔新材料有限责任公司是一家专门从事高品质碳化硅(SiC)微粉和晶须及其下游制品等研发、生产、销售的国家级高新技术企业,自主发明实现工业化生产立方碳化硅(β-SiC)微粉和晶须的专业企业。其中主营产品立方碳化硅经陕西省工信厅及国家工信部批准被纳入重点新材料,公司的SiC微粉在精细分级和表面改性处理等方面也都处于前列水平。
湖州源沁新材料有限公司
湖州源沁新材料有限公司位于浙江省湖州市,在湖州、深圳设有工厂和研发公司,是从事纳米碳化硅、高纯碳化硅、纳米氮化硅、纳米碳化钛、纳米氮化硼、高纯碳化硼、纳米氮化铝、石墨烯纳米片等纳米新材料、超精研新材料、陶瓷新材料、光电新材料、超导新材料的研究、市场应用推广的技术企业。
资料来源:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、长江潮媒、企业官网。
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编辑整理/平安)
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