
在平板显示器(FPD)的制造过程中,光刻技术发挥着至关重要的作用。它承载着将电路设计图形从掩膜版精准“转印”到玻璃基板或晶圆上的重任,其精度与质量直接决定了显示屏的分辨率、亮度和终端产品良率。
而在复杂的光刻工艺流程中,显影是其中关键一步,它通过化学溶液(显影液)的选择性溶解,将曝光后的潜影(Latent Image)转化为可见的物理图形。显影作为一道承上启下的关键工序,其涂布的均匀性,正是决定图形转移成败的微观基石。斯普瑞喷雾推出的创新产品——PUDDLE KNIFE 药液刀,以其卓越设计攻克行业痛点,引领显影工艺迈向新高度。
显影工艺
(图形转移的微观雕刻师与其核心挑战)

显影工艺的本质,是在经过曝光的光刻胶上,通过显影液的化学作用,选择性地溶解掉可溶区域,从而将掩膜版上的设计图形精确地显现出来。这个过程如同一场微观世界的精密雕刻,任何一丝瑕疵都将在后续的蚀刻、剥离等工序中被放大,并影响显示屏的视觉效果。然而,传统的显影液涂布技术正面临着严峻的挑战:
涂布均匀性问题
传统涂布方式易受液流、压力、基板平整度等因素影响,难以在超大尺寸基板(如G8.6及以上)上实现纳米级别的膜厚均匀性。这会导致显示屏出现“Mura”(辉斑或色斑)等视觉效果不均的现象。
药液利用率与成本
不均匀的涂布往往意味着需要过量喷洒药液以覆盖“薄弱区域”,造成了显影液的大量浪费,推高了生产成本。缺陷控制难题
涂布过程中产生的气泡、溅射或流动痕迹,极易形成显影缺陷,如点缺陷、条纹等,严重制约了产品良率的提升。
破局之道:斯普瑞喷雾PUDDLE KNIFE药液刀的创新设计
面对传统显影液涂布技术的难题,斯普瑞喷雾凭借其深厚的流体力学技术与精密制造能力,推出了革命性的PUDDLE KNIFE 药液刀。该产品并非简单的物理结构改进,而是从流体分配原理上进行了一场深度革新。

其核心优势源于以下三大独特设计:
独特的腔室结构:流场的“稳压器”
PUDDLE KNIFE 的内部并非简单的空腔,而是经过精密计算和优化的多级缓冲与均流腔室。显影液在进入腔室后,会经历多次的扩散、混合与再分配,有效消除了从供液系统带来的压力脉动和流动惯性。这使得药液在到达缝口之前,其流场已经变得极其稳定与均匀,为后续的均匀涂布奠定了坚实基础。
精密的缝口构造:均匀的“缔造者”
缝口是药液与基板接触的关口,其精度直接决定了涂布质量。斯普瑞喷雾的PUDDLE KNIFE采用超高精度的机械加工与特殊材质处理,确保了缝口在整个宽度范围内保持极高的直线度、平行度和一致性。这种“刀锋般”的精准,使得显影液能够以一道极其平整、稳定的“液幕”形式流出,彻底告别了传统涂布中常见的“泪滴状”或“波浪状”液流。
一体化的流体动力学解决方案
独特腔室与精密缝口的完美结合,共同构成了一个高效的流体动力学系统。它不仅保证了药液分配的均匀性,还显著提升了工艺的稳定性。无论是应对不同粘度的药液,还是适应不同的机台速度,PUDDLE KNIFE 都能提供一致且卓越的涂布表现。
斯普瑞喷雾为平板显示显影工艺带来的核心价值提升:
极致均匀,消除Mura:通过实现近乎完美的显影液膜厚均匀性,从根本上减少了因涂布不均导致的显示辉斑(Mura),显著提升了显示屏的视觉一致性和高端质感。
提升良率,降低成本:均匀的涂布意味着更少的显影缺陷和更高的图形保真度,直接助推产品综合良率的跃升。同时,高效的药液利用也降低了单位产品的耗材成本。
工艺窗口拓宽,生产更稳定:其卓越的稳定性使得工艺对设备波动、环境变化的敏感度降低,为工艺工程师提供了更宽的操作窗口,使大规模、高效率的连续生产成为可能。
面向未来的技术准备:随着显示技术向更高分辨率、更大基板尺寸演进,对涂布均匀性的要求只会越来越严苛。PUDDLE KNIFE 的技术理念正为应对这些未来挑战提供了前瞻性的解决方案。


在平板显示行业这场关乎“像素”的终极竞赛中,每一个工艺细节的精进都意义非凡。斯普瑞喷雾以对流体科学深刻的理解和匠心独运的设计,精准地击中了显影工艺的痛点,将“均匀涂布”这一基本要求做到了极致。它不仅是提升当前产品品质与良率的利器,更是驱动行业向更高画质、更低成本迈进的强大引擎。
选择斯普瑞喷雾,就是选择为您的显示产品,注入一份源自微观世界的均匀与精准。













