中国粉体网讯近日,国内首家实现规模化生产半导体静电吸盘的厂商君原电子科技(海宁)有限公司(简称:君原电子)完成C+轮融资,国策投资携手道禾拓荆芯链基金、智微资本共同参与本轮投资、/p>

君原电子落户光谷筑芯科技产业园,来源:中国光谶/p>
值得注意的是,在此前多轮次融资中,公司已获包括石溪资本、深重投、华虹虹芯、芯联基金、拓荆岩泉等众多知名产业资本支持、/p>
静电卡盘又称静电吸盘,其基本功能是对晶片提供静电吸附力传输晶片,在集成电路制造中是薄膜设备、刻蚀机、离子注入机、量测设备等高端装备的核心部件、/p>
在半导体设备中,静电吸盘属于高价值关键部件,在半导体设备零部件中价值占比约16%,仅次于机械手和真空泵。根据QY Research报告显示,预?030年全球陶瓷静电卡盘市场规模将达到24.24亿美元,2023-2030年复合增长率?.99%、/p>
君原电子成立?020年,公司主要业务包括生产高品质的静电吸盘、高频电源模块、刻蚀气体和化学气相沉积(CVD)材料等半导体设备相关产品。其中,静电吸盘是其核心产品之一,具备半导体静电吸盘(ESC)从研发到量产的全流程能力。公司产品线实现?4nm(及以上)的主要刻蚀机台静电吸盘产品的全覆盖,产品已经在国内12寸和8寸集成电路领域企业中获得应用、/p>
去年4月,君原电子与武汉东湖高新区签约,将在光谷建设半导体静电吸盘项目。该项目将建设静电吸盘产线,就近为光谷集成电路企业提供静电吸盘生产与维修服务、/p>
来源:国策投资、中国光谶/p>
(中国粉体网编辑整理/空青(/p>
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