中国粉体网讯纳米氧化铈,作为稀土氧化物家族中的重要成员,是一种粒径处于纳米量级(通常?-100nm)的氧化铈材料。从微观结构上看,它呈现出细小且均匀的颗粒状态,拥有极大的比表面积,这使得它相较于普通氧化铈,具有更多的表面原子,活性位点大幅增加。其化学组成主要为CeO?,铈元素独特的电子层结构赋予了纳米氧化铈丰富的物理化学性质、/p>
在化学机械抛光领域,纳米氧化铈堪称“明星材料”。凭借其独特的化学活性,纳米氧化铈能够与抛光表面发生恰到好处的化学反应,将一些顽固的氧化层、杂质轻柔地“解离”。同时,它均匀的颗粒尺寸和良好的分散性,确保了在机械研磨过程中,施加在晶圆表面的压力均匀分布,避免了局部过度研磨或研磨不足的情况。与传统抛光材料相比,使用纳米氧化铈的抛光液,能在相同时间内实现更高的材料去除速率,且晶圆表面的粗糙度可降低约30%- 50%,有效提升了后续光刻、刻蚀等工序的精度基础,大大提高了半导体制造的整体效率、/p>
针对高端研磨抛光相关的技术、材料、设备、市场等方面的问题,中国粉体网将?026??5?4?6日在河南郑州举办2026高端研磨抛光材料大会暨半导体与光学材料超精密加工论坛。届时,河北工业大学教授张建斌将作题为《纳米氧化铈的精准与高效制备技术》的报告。报告中将介绍纳米氧化铈可控制备需求背景、纳米氧化铈的可控制备技术、纳米氧化铈的分离过程、纳米氧化铈的系统表征、/p>
专家简介:

张建斌,主要研究方向为纳米无机材?纳米氧化铈、纳米碳酸钙、纳米氧化镁?精准制备、二氧化碳捕集与矿化利用、钙基新材料(纳米钙、轻钙、高比表面积氢氧化钙、贝壳可食用钙等)制备、各种气流的硫化氢脱除技术等、/p>
2009年以来主持国家自然科学基金(3项)、国家科技支撑计划项目、教育部新世纪优秀人才项目、教育部博士点项目、内蒙古杰出青年基金项目、内蒙古科技攻关项目、河北省自然科学基金重点项目、天津创新联合体重点项目等各类科研项?0项,支配科研经费900余万元,指导博士、硕士研究生70余人。曾多次与国内外科研机构进行学术交流,已在国内外SCI检索期刊上发表论文202篇,授权国家发明专利7件、国际发明专?件,另有5件正在申请国家发明专利保护,作为主编出版专著1部,作为副主编出版教?部、/p>
内蒙古煤基固废CO2捕集与资源化创新人才团队(草原英才团队)负责人(创始人);内蒙古CO2捕集与资源化工程技术研究中心主任(创始人);教育部首批“双带头人”党支部书记工作室书记;中国化学会高级会员;中国化工学会离子液体专业委员会委员;中国无机盐工业协会碳酸钙行业分会专家;Sustainable Chemical Engineering杂志副主编;中国设备管理协会钙粉产业发展促进中心“专家智库”委员会委员;河北省精细化工行业协会委员会专家、/p>
参考来源:
中国粉体罐/p>
(中国粉体网编辑整理/山林(/p>
注:图片非商业用途,存在侵权告知删除?/p>










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