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隔绝石墨基体，不释放碳污柒/p>
完全不与 Si 蒸气反应（SiC 长晶*关键（/p>
耐高温、抗冲刷、寿命比纯石墨高 5?0 倌/p>
温场更均匀，晶 / 晶圆良率大幅提升
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