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Solid Sic盘、环
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Solid Sic盘、环
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Solid SiC（整体固相碳化硅）盘 / 环，区别 “石 + SiC 涂层 的复合件，是 SiC 整体结构，尤其在半导 ICP 刻蚀、SiC 外延、MOCVD 等强等离 / 高温工况中是核心耐蚀承载 / 聚焦部件、/p>
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